第799章 我的产品 价廉物美(3/5)
“我们的目标,不仅仅是要追上国外,还得要超越。成为行业的领导者,当之无愧的霸主。”
谢逸云:“我们会努力的!”
接下来,又是去看sw2003。
sw2003依旧采用的深紫外光源,只不过这还只是一台原型机,想要正式的量产还有这不少的问题。
预计将在后年能够正式的量产。
sw2003光刻机是90纳米制程当今世界上最先进的光刻机之一。
sw2003光刻机是第四代步进时扫描投影光刻机,采用rf光源,波长193,是当今世界的主流光刻机就在这个阶段。
“我记得,还有一种浸没式步进扫描投影光刻机,那研究得如何了?”
sw2003即使再怎么的研究,也就只能够到65纳米制程就没有办法再提升了。
而浸没式光刻机最高工艺节点能够到45-22纳米。
也就是说,22纳米继续往下走,就只能够ev光刻机。
提出浸没式光刻机的人,可就在星达科技。
“预计在明年的时候,能够做出原型机,想要实现量产的话,估计得要到2005年才行。”说到这个,谢逸云相当的无奈。
光刻机越往下走,难度变得越发大了起来。
申微在ev光刻机的研制上面也遇到了极其大的困难,可sl可宣称要在明年的时候就推出ev光刻机。
最新接到的情报,sl公司在研制ev光刻机上面也遭遇到了困难,明年推出ev光刻机显然变得不现实。
可对于申微来说,压力依旧的是相当大。
韩松林轻轻的点了点头,2005年,并非说就等不起。
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